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    針對ITO導電薄膜及線路提供高度精確的缺陷偵測與分(fēn)類，可(kě)應用(yòng)於各種觸控顯示產品，並滿足不同客戶對於產品良率提升及監控的需求。
  • 採用(yòng)高速移動平台結合多(duō)種倍率鏡頭及即時雷射對焦系統系統，針對AOI設備所檢出的各類缺陷提供即時快速且清晰的彩色圖像拍照，並可(kě)搭配自動缺陷判定系統對缺陷進行快速分(fēn)類。
  • 採用(yòng)高精度光學取像量測模組並結合特殊平台及光源設計，可(kě)提供CD/Overlay高精度量測。

  • 色度/膜厚/OD量測設備

    採用(yòng)X/Y龍門移動平台，可(kě)個別或整合搭載色度/膜厚/OD光譜儀量測模組，應用(yòng)於各塗佈製程後的色度/膜厚/OD不均及異常的自動精密量測。
  • 提供客戶所有(yǒu)放大觀察及量測需求的全方位解決方案。

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