Features

  • AI 即時缺陷檢測及分(fēn)類，即檢即分(fēn)類，處理(lǐ)速度可(kě)達  50 FPS以上。
  • 可(kě)搭載8”/12” EFEM，支援SECS GEM200/300。
  • Min defect size ≧ 0.3µm
  • 可(kě)搭載良率管理(lǐ)系統。