Features

  • AI 即时缺陷检测及分(fēn)类，即检即分(fēn)类，处理(lǐ)速度可(kě)达  50 FPS以上。
  • 可(kě)搭载8”/12” EFEM，支援SECS GEM200/300。
  • Min defect size ≧ 0.3µm
  • 可(kě)搭载良率管理(lǐ)系统。