採用(yòng)多(duō)种光學(xué)取像系统及影像品质稳定硬體(tǐ)设计，搭配独有(yǒu)检测演算软體(tǐ)，针对蒸镀后及雷射修补后所产生或残留的各类孔洞及表面异常缺陷进行有(yǒu)效检知与分(fēn)类及无效缺陷过滤，可(kě)应用(yòng)于CMM及FMM产品。
OLED显示器光罩检测设备
SPEC/关键能(néng)力
✔解像及缺陷检出能(néng)力范围可(kě)达 3um~5um
✔检出區(qū)域可(kě)同时涵盖光罩區(qū)及外框區(qū)
✔检测技术可(kě)支援不同图像设计及任意形状的光罩产品。
✔缺陷智能(néng)分(fēn)类功能(néng)
