採用(yòng)高速动态光學(xué)取像系统及影像品质稳定硬體(tǐ)设计，搭配独有(yǒu)检测演算软體(tǐ)，提供精确的缺陷侦测与分(fēn)类，并满足不同客户对于8吋及12吋晶圆产品出货品质检验的需求。