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  • 触控面板自动光學(xué)检测设备

    针对ITO导電(diàn)薄膜及線(xiàn)路提供高度精确的缺陷侦测与分(fēn)类，可(kě)应用(yòng)于各种触控显示产品，并满足不同客户对于产品良率提升及监控的需求。

  • Mura缺陷自动光學(xué)检测设备

    採用(yòng)单一或多(duō)种光學(xué)取像系统，搭配DM影像检测技术，针对CF全膜涂佈后、曝光显影前的所产生的膜厚、色度变异或Array曝光显影后所产生的图形变异所产生的Mura进行即时检知。
  • 採用(yòng)高速移动平台结合多(duō)种倍率镜头及即时雷射对焦系统系统，针对AOI设备所检出的各类缺陷提供即时快速且清晰的彩色图像拍照，并可(kě)搭配自动缺陷判定系统对缺陷进行快速分(fēn)类。

  • 自动光學(xué)CD量测设备

    採用(yòng)高精度光學(xué)取像量测模组并结合特殊平台及光源设计，可(kě)提供CD/Overlay高精度量测。

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    採用(yòng)X/Y龙门移动平台，可(kě)个别或整合搭载色度/膜厚/OD光谱仪量测模组，应用(yòng)于各涂佈製程后的色度/膜厚/OD不均及异常的自动精密量测。
  • 提供客户所有(yǒu)放大观察及量测需求的全方位解决方桉。

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